實驗室凈化工程中潔凈車間的溫度空氣相對濕度主要依據(jù)：

實驗室凈化工程中潔凈車間的溫度空氣相對濕度主要是依據(jù)加工工藝規(guī)定來確立，但在充分考慮加工工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)下，應(yīng)充分考慮人的舒適感感。伴隨著著實驗室凈化工程中潔凈車間氣體潔凈室等級規(guī)定的提升，出現(xiàn)了加工工藝對溫度空氣相對濕度的規(guī)定也愈來愈嚴(yán)的發(fā)展方向。試驗室潔凈工程實際加工工藝對溫度的規(guī)定之后也要例舉，但做為總的標(biāo)準(zhǔn)看，因為加工精度愈來愈細(xì)致，因此對溫度起伏范疇的規(guī)定愈來愈小。比如在產(chǎn)業(yè)化集成電路芯片集成ic芯片生產(chǎn)生產(chǎn)加工的光刻工藝曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅單晶的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。直徑100um的硅單晶，溫度升高1度，造成了0.24um線形膨漲，因此盡可能有±0.1度的溫控，除此之外規(guī)定氣體空氣濕度值一般較低，由于人流汗之后，對商品將有環(huán)境污染，十分是怕鈉的半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)流水線，實驗室凈化工程中潔凈車間溫度不適合超出25度，氣體空氣濕度過高造成的難題許多。